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2026

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白光干涉仪全域成像技术对超光滑样品批量工艺异常的识别与分析

正文超光滑样品广泛应用于半导体化学机械抛光（Chemical Mechanical Polishing, CMP）晶圆、精密光学基底、微机电系统（Micro-El...

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2026

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基于光学轮廓测量的核电级阀门平面度热辐照变形（Thermal...

核电级阀门（Nuclear-grade Valve）是核电系统流体调控、压力隔离的核心承压设备，其密封面平面度（Flatness）直接关乎核电机组运行安全性与密封...

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2026

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骨植入体 表面粗糙度异常 白光干涉仪提升骨整合效果

医用骨植入体（Bone Implant）多采用钛合金、陶瓷等生物材料，其表面粗糙度（Surface Roughness）是调控骨整合（Osseointegrati...

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2026

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超光滑样品（Ultra-smooth Sample）工艺畸变...

摘要超光滑样品广泛应用于精密光学元件、半导体晶圆（Wafer）、微机电系统（MEMS）器件、钙钛矿功能薄膜等高端制造领域。样品在抛光、镀膜、转运制程中，易产生全域...

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