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基于白光干涉测量的镜筒定位面平面度管控要点

摘要镜筒定位面平面度是保障光学系统光轴精度与成像质量的核心指标，精准管控其平面度是光学器件装配的关键环节。白光干涉测量技术凭借非接触、纳米级精度的优势，为平面度管...

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2026

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05

白光干涉测量评估 LNG 深冷硬密封蝶阀平面度抗渗漏特性

摘要LNG深冷硬密封蝶阀是液化天然气储存、输送系统的核心密封部件，工作于-162℃深冷工况，其密封面平面度直接决定抗渗漏特性，平面度偏差易引发LNG泄漏，危及生产...

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2026

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白光干涉测量表征微流控基底贴合面平面度及微米缝隙影响分析

摘要微流控芯片基底贴合面的平面度及微米级缝隙直接影响器件密封性能与流体操控精度，精准表征二者特性是优化封装工艺的关键。白光干涉测量技术具有非接触、纳米级分辨率的优...

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2026

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镜筒定位面平面度对光学镜片形变的白光干涉测量研究

摘要光学镜筒定位面平面度直接影响镜片装配精度，易引发镜片微观形变，进而降低光学系统成像质量。白光干涉测量技术凭借非接触、纳米级分辨率优势，可精准表征定位面平面度与...

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